1、潔凈室的防排煙問題

潔凈室的防排煙問題專業(yè)設計人員和消防主管部門共同協(xié)商確定。由于目前尚缺乏具體的設計規(guī)范，僅能參照普通建筑或高層建筑防水排煙規(guī)范并結合生產(chǎn)工藝的特殊性作設計方案。即采用所謂性能化防火設計，許多國家都允許在消防設計中采用此設計方法。該方法的主要特點是容許有一點靈活性和強調能實現(xiàn)的使用目的，例如：延長可用于救災的時間、減少人員逃生所需要的時間、系統(tǒng)的高可靠性、優(yōu)化和節(jié)約投資等。這樣的設計在前期要投入一定的科研，如運用相關的數(shù)學模型（如火災模型、人群疏散模型等）及CFD技術等。

2、防微振問題

對于高級別半導體生產(chǎn)廠房微振動會影響產(chǎn)品成品率，所以在建筑、結構上采用了大量措施，甚至采用了主動抗振裝置等。凈化空調系統(tǒng)本身設備及氣流引起的振動控制也必須十分重視。

3、防靜電問題

由于潔凈室內較低的相對濕度及大量使用絕緣材料，很容易產(chǎn)生靜電集聚。靜電會導致產(chǎn)品與設備表面的微粒污染，并損壞耐壓較低的電子元件。防靜電的主要方式有將導體接地、采用靜電保護罩及使用空氣離子發(fā)生器等。